適用產品:軟板(內層,外層,單面,雙面)

基板尺寸:

Max:260mm*1200mm

Min: 250mm*600mm

基板厚度:0,03~0.2mm

底片尺寸:350mm*1500mm

曝光方式:Scan

解析度(L/S):40/40um

生產效率:約 17秒/張(含設備運行+真空+曝光對位時間)

曝光均勻性: >=90%