適用於細微 Hole Plugging 的設備

※ 在真空狀態下進行填充，顯著改善Void等不良

產品尺寸(mm):350*350~510*610

厚度: 0.4~4.0 (mm)

對位精度(um): +/- 10 (X,Y,Φ)

真空能力: 100~10,000 Pa

Tact time: 100sec/Panel (標準配置2EA 真空pump)