1. 搬運滾輪上的異物去除 2. 電氣檢查冶具、探針的異物去除
1. 和基板的形狀相同,只要在搬送滾輪上輸送,就可以捕捉各種異物。 2. 有優越的耐藥性可以用在各種製程。 ※關於耐藥性,請洽本公司服務人員。 3. 清潔板表面附著的異物用IPA等洗淨即可重覆利用。