用途：

MIS-800C 分類機

特點：

1.基板傷防止

角度補正付テーブルにより、基板をテーブルに置いた後は基板を動かさない為、基板にキズを付けません。

2.高精度測定

プリアライメント機能により、計測視野からマークが外れること無く高速、高精度で計測出来ます。多点振分式X線穴明機で培った、XY補正方式により高精度、長時間安定した計測ができます。

3.多彩な出力

多彩な分類方法に対応し、取出し機に結果を出力します。統計処理機能（グラフ付）により基板伸縮の分析が出来ます。
計測ログファイルを出力できるので、他のシステムでの分析も容易にします。