适用产品:软板(内层,外层,单面,双面)

基板尺寸:

Max:260mm*1200mm

Min: 250mm*600mm

基板厚度:0,03~0.2mm

底片尺寸:350mm*1500mm

曝光方式:Scan

分辨率(L/S):40/40um

生产效率:约 17秒/张(含设备运行+真空+曝光对位时间)

曝光均匀性: >=90%