1. 切断・切削等基板外观加工后的清洁 2. 电气检测前的清洁 3. 其他基板的清洁
1. 以上下回转刷, 异物附着一次去除 2. 以共振空气、强力去除上下表面及孔穴、细缝内的异物 3. 以集尘机(选配)回收飞散的异物 4. 只有在基板通过时喷射空气,将压缩机的负担降至最低 5. 可处理自动投入、收取、上线等各种现场状况