1. 搬运滚轮上的异物去除 2. 电气检查冶具、探针的异物去除
1. 和基板的形状相同,只要在搬送滚轮上输送,就可以捕捉各种异物。 2. 有优越的耐药性可以用在各种制程。 ※关于耐药性,请洽本公司服务人员。 3. 清洁板表面附着的异物用IPA等洗净即可重覆利用。